美国ACM RESEARCH 涂胶设备_供应产品_美国ACM RESEARCH佳武自营旗舰店

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经营范围：ACM RESEARCH半导体设备

主营行业：

所在地区：美国

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美国ACM RESEARCH 涂胶设备

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详细信息

　　美国ACM RESEARCH 刷洗设备

涂胶设备

• 可选配HMDS

• 涂胶

• 前烘

主要优势

创新的双层旋涂方法

精确的涂胶厚度和均性控制

腔体自动清洗功能

进的热/冷盘模块

技术进，使用便捷

特性和规格

兼容8英寸和12英寸晶片

可配多四个涂胶腔体,并配置腔体自清洗功能

每个涂胶腔体可配有两种光刻胶喷嘴

去边（EBR）喷嘴, 预湿喷嘴, 正背面清洗喷嘴

2到8个热盘，2到6个冷却盘，1到2个HMDS模块

询价单

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