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美国ACM RESEARCH 单晶圆清洗设备
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产品: 浏览次数:46美国ACM RESEARCH 单晶圆清洗设备 
品牌: ACM RESEARCH
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最后更新: 2023-12-06 09:09
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详细信息
   美国ACM RESEARCH  单晶圆清洗设备
单晶圆清洗设备
• 沉积前清洗
 
• 蚀刻后清洗
 
• CMP后清洗
 
• RCA标准清洗
 
• W Loop后清洗
 
• Cu Loop后清洗
 
• 去除BEOL聚合物
 
• 深层Trench/Via清洗
 
• 薄膜去除
 
• TSV后清洗
 
• EPI前清洗
 
• ALD前清洗
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