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美国ACM RESEARCH SAPS兆声波清洗设备
SAPS兆声波清洗设备
• 深沟道清洗
• CMP 后清洗
• Hard Mask 沉积后清洗
• Contact/Via 刻蚀后清洗
• Barrier metal沉积前清洗
• 晶圆回收清洗
• EPI沉积前清洗
• ALD沉积前清洗
特性和规格（Ultra C SAPS II）
多可配至8个腔体，产能225WPH
双面清洗， 多可配5种清洗药液, 如. DHF SC1, SC2, DIO3, BOE, Solvent, HF/HNO3…
多可回收两种药液
集成式药液供给模块
设备体积小：2.35m x 5.53m x 2.85m （宽x长x高）